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12月29日，国泰中证半导体材料设备主题ETF基金（159516）最新份额为55.37亿份，较前一交易日增加了7500.0万份。当日资金净流入1971.35万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为85.51亿元。该基金近一周净值下跌0.4%，近一个月净值上涨9.45%。

国泰中证半导体材料设备主题ETF基金成立于2023年7月19日，基金经理为艾小军，基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立以来超额回报为5.43%，近一个月超额回报为0.01%。最新披露的基金持仓数据显示，截止2025年9月30日，该基金第一大重仓股为中微公司（688012），持股占比为16.44%。